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      EVG850 TB-自動化臨時鍵合系統

      簡要描述:EVG850 TB-自動化臨時鍵合系統 EVG鍵合機 全自動的臨時鍵合系統(晶圓鍵合機)可在一個自動化工具中實現整個臨時鍵合過程-從臨時鍵合劑的施加,烘焙,將設備晶圓與載體晶圓的對準和鍵合開始。

      • 產品型號:
      • 廠商性質:代理商
      • 產品資料:
      • 更新時間:2024-11-09
      • 訪  問  量: 2400

      詳細介紹

      EVG850 TB-自動化臨時鍵合系統 EVG鍵合機

      應用:全自動將臨時晶圓晶圓鍵合到剛性載體上

      一、簡介

             全自動的臨時鍵合系統(晶圓鍵合機)可在一個自動化工具中實現整個臨時鍵合過程-從臨時鍵合劑的施加,烘焙,將設備晶圓與載體晶圓的對準和鍵合開始。與所有EVG的全自動工具(晶圓鍵合機)一樣,設備布局是模塊化的,這意味著可以根據特定過程對吞吐量進行優化。可選的在線計量模塊允許通過反饋回路進行全過程監控和參數優化。

             由于EVG的開放平臺,因此可以使用不同類型的臨時鍵合粘合劑,例如旋涂熱塑性塑料,熱固性材料或膠帶。

      EVG850 TB-自動化臨時鍵合系統 EVG鍵合機二、EVG鍵合機特征

      開放式膠粘劑平臺
      各種載體(硅,玻璃,藍寶石等)
      適用于不同基板尺寸的橋接工具功能
      提供多種裝載端口選項和組合
      程序控制系統
      實時監控和記錄所有相關過程參數
      *集成的SECS / GEM接口
      可選的集成在線計量模塊,用于自動反饋回路
      三、EVG鍵合機技術數據

      晶圓直徑(基板尺寸):長300毫米,可能有超大的托架、不同的基材/載體組合
      組態:
      外套模塊
      帶有多個熱板的烘烤模塊
      通過光學或機械對準來對準模塊
      鍵合模塊
      四、選件

      在線計量
      ID閱讀
      高形貌的晶圓處理
      翹曲的晶圓處理

       

       

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