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      能否操作好多波段橢偏儀,在于您對(duì)下面這些資料掌握多少!

      更新時(shí)間:2022-08-11  |  點(diǎn)擊率:1383
        多波段橢偏儀是一種用于檢測(cè)薄膜厚度,光學(xué)常數(shù)和材料微觀結(jié)構(gòu)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。由于其高測(cè)量精度,它適用于超薄膜,不接觸樣品,不會(huì)損壞樣品而不需要真空,使多波段橢偏儀成為一種吸引力較強(qiáng)的測(cè)量?jī)x器。
       

       

        多波段橢偏儀的基本光學(xué)物理結(jié)構(gòu):
        已知入射光的偏振態(tài),偏振光在樣品表面被反射,測(cè)量得到反射光偏振態(tài)(幅度和相位),計(jì)算或擬合出材料的屬性。
        入射光束的電場(chǎng)可以在兩個(gè)垂直平面上分解為矢量元。P平面包含入射光和出射光,s平面則是與這個(gè)平面垂直。類似的,反射光或透射光是典型的橢圓偏振光,因此儀器被稱為多波段橢偏儀。關(guān)于偏振光的詳細(xì)描述可以參考其他文獻(xiàn)。在物理學(xué)上,偏振態(tài)的變化可以用復(fù)數(shù)ρ來(lái)表示:其中,ψ和?分別描述反射光p波與s波振幅衰減比和相位差。P平面和s平面上的Fresnel反射系數(shù)分別用復(fù)函數(shù)rp和rs來(lái)表示。rp和rs的數(shù)學(xué)表達(dá)式可以用Maxwell方程在不同材料邊界上的電磁輻射推到得到。每層介質(zhì)的折射率可以用復(fù)函數(shù)表示;
        其中?0是入射角,?1是折射角。入射角為入射光束和待研究表面法線的夾角。通常多波段橢偏儀的入射角范圍是45°到90°。這樣在探測(cè)材料屬性時(shí)可以提供很好的靈敏度。
        通常n稱為折射率,k稱為消光系數(shù)。這兩個(gè)系數(shù)用來(lái)描述入射光如何與材料相互作用。它們被稱為光學(xué)常數(shù)。實(shí)際上,盡管這個(gè)值是隨著波長(zhǎng)、溫度等參數(shù)變化而變化的。當(dāng)待測(cè)樣品周圍介質(zhì)是空氣或真空的時(shí)候,N0的值通常取1.000。
        通常多波段橢偏儀測(cè)量作為波長(zhǎng)和入射角函數(shù)的ρ的值(經(jīng)常以ψ和?或相關(guān)的量表示)。一次測(cè)量完成以后,所得的數(shù)據(jù)用來(lái)分析得到光學(xué)常數(shù),膜層厚度,以及其他感興趣的參數(shù)值。
       
        可以用一個(gè)模型(model)來(lái)描述測(cè)量的樣品,這個(gè)模型包含了每個(gè)材料的多個(gè)平面,包括基底。在測(cè)量的光譜范圍內(nèi),用厚度和光學(xué)常數(shù)(n和k)來(lái)描述每一個(gè)層,對(duì)未知的參數(shù)先做一個(gè)初始假定。很簡(jiǎn)單的模型是一個(gè)均勻的大塊固體,表面沒(méi)有粗糙和氧化。
       
        但實(shí)際應(yīng)用中大多數(shù)材料都是粗糙或有氧化的表面,因此上述函數(shù)式常常不能應(yīng)用。

       

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