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      想知道光學膜厚儀在行業中都有哪些經典應用嗎?

      更新時間:2020-11-23  |  點擊率:1242
        光學膜厚儀是利用薄膜干涉光學原理,對薄膜進行厚度測量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面,探頭同位接收反射光線。光學膜厚儀根據反射回來的干涉光,用反復校準的算法快速反演計算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm,可同時完成多層膜厚的測試。對于100nm以上的薄膜,還可以測量n和k值。

        應用領域:
        半導體制造業,光刻膠、氧化物、硅或其他半導體膜層的厚度測量;
        生物醫學原件:聚合物/聚對二甲苯;生物膜/球囊壁厚度;植入藥物涂層;
        微電子:光刻膠;硅膜;氮化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡;
        液晶顯示器:盒厚;聚酰亞胺;導電透明膜;
        由于是光學測量,在測量時候無須擔心破壞樣品,讓用戶簡單快速地測量薄膜的厚度和光學常數,通過對待測膜層的上下界面間反射光譜的分析,幾秒鐘內就可測量結果。
       
        光學膜厚儀的優點:
        1、非接觸式測量:光學膜厚儀采用的原理是通過光的反射原理對膜層厚度進行測量,屬于非接觸式測量方法,不會對樣品造成任何損傷,能夠保證樣品的完整性。
        2、測量數據多樣:可以測得物體的膜厚度和n,k數據,這是其它類型的膜厚儀所不具備的特點。
        3、測量快速:光學膜厚儀的測量過程非常快速,因為該設備采用了先進的結構設計,能夠ji大程度的提升測量效率,相比于其他類型膜厚測量設備來說顯得非常輕巧方便。
        4、適用范圍廣:光學膜厚儀的適用范圍非常廣泛,從普通家用到工廠的工業生產,再到大學實驗室和科學研究所,都可以看到它的身影,由此可見它的使用范圍極其廣泛,能夠作業的場合也變得更加多樣化。
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